铜靶（高纯无氧铜，氧含量低，晶粒尺寸小）、铜镍靶（有效改善cu与tco薄膜的附着力）、钼合金靶（对铜原子、氧原子等具有良好的阻隔特性）
铜靶（高纯无氧铜，氧含量低，晶粒尺寸小）、铜镍靶（有效改善cu与tco薄膜的附着力）、钼合金靶（对铜原子、氧原子等具有良好的阻隔特性）
