ito靶材（90:10、97:3）
有兼顾薄膜方阻和透过率，溅射稳定，不易结瘤
空穴传输层靶材
niox:x靶，配方多元化设计，可匹配直流和射频电源，改善靶表面结瘤状况
电极金属化靶材
铜靶（高纯无氧铜，氧含量低，晶粒尺寸小）、铜镍靶（有效改善cu与tco薄膜的附着力）、钼合金靶（对铜原子、
tcom无铟靶材
有效降低靶材成本，薄膜近红外区透过率高
prd-ped靶材
ico（迁移率150 cm2/(v·s)）、iwo、izo、azo、snox小圆柱靶
omht超高迁移率靶材（99:1
迁移率120 cm2/(v·s)，薄膜方阻低，透过率高
